此款CVD生長系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
產品性能:
1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節能50%以上
2、空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
3、啟動電爐,排溫風機同時自動運行,試驗結束后,排溫風機將繼續運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風機自行停止,有效保護了爐體表面
4、自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性
5、電路采用連續加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統的穩定性
6、加熱模塊采用直流信號調節輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾
7、自動補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響,避免人為調節的不準確性和危險性
8、采用數顯流量顯示儀,配合質量流量控制器,采集數據并控制流量。重復性好,相應速度快,穩定等特點。(氣體質量流量控制系統)
9、自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。(中真空控制系統)
10電磁閥緩啟動技術,使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使爐管內系統壓力保持準確,也保證了廢氣不會返回到爐管系統影響實驗效果(中真空控制系統)
安全性:
1、過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。
2、采用單向閥技術,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,安全。
3、采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會泄露。
型號 | 單溫區 | CVD-TF14P40 | CVD-TF14P50 | CVD-TF14P60 | CVD-TF14P80 | ||||||||
單溫區 | CVD-TF14T40 | CVD-TF14T50 | CVD-TF14T60 | CVD-TF14T80 | |||||||||
性能 | 使用溫度范圍 | 300~1400℃ | |||||||||||
溫度分辨率 | 1℃ | ||||||||||||
控溫 | ± 1℃ | ||||||||||||
升溫速率 | 0~20℃/min | ||||||||||||
加熱區長度 | 200mm | 400mm | |||||||||||
恒溫區長度 | 70mm | 140mm | |||||||||||
真空度 | -0.1MPa | ||||||||||||
空爐升溫時間 | ≤15min | ||||||||||||
配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min;500-1000≤10℃/min;1000-1200≤5℃/min;1000-1400≤2℃/min | ||||||||||||
構成 | 外裝 | 冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝 | |||||||||||
爐膛體 | 多晶莫來石纖維 | ||||||||||||
爐膛尺寸 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | |||||||||||
爐管 | 剛玉管 | ||||||||||||
爐管尺寸 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 | |||||||||
加熱器 | 硅碳棒 | ||||||||||||
加熱功率 | 3KW | 5KW | |||||||||||
斷熱層 | 雙層強制風導流 | ||||||||||||
打開方式 | 無 | ||||||||||||
控制 器 | 控制器 | P:進口程序控溫數碼顯示; T:7寸彩色觸摸屏程序控溫 | |||||||||||
控制方式 | 使用微型電腦PID控制 | ||||||||||||
設定方式 | P:輕觸五按鍵動作、數顯設定; T:手指觸摸輕點設定 | ||||||||||||
顯示方式 | P:雙行LED數字顯示; T:彩色液晶屏顯示 | ||||||||||||
定時 | 0~999.9小時 | ||||||||||||
運行功能 | 定值運行、程序運行 | ||||||||||||
程序模式 | P:程序運行、4條曲線、共40步; T:50步 可調用儲存程序 | ||||||||||||
傳感器 | S型熱電偶 | ||||||||||||
附屬功能 | P:校正功能; T:校正功能、實時曲線記錄、U盤數據導出 | ||||||||||||
安全裝置 | 過流漏電保護開關 | ||||||||||||
質量流量控制系統 | 氣路數量 | 3路(可根據具體需要選配氣路數量) | |||||||||||
流量范圍 | 0-0500sccm(標準毫升/分,可選配)氮氣標準 | ||||||||||||
精度 | ±1%F.S | ||||||||||||
響應時間 | ≤4s | ||||||||||||
工作溫度(流量計) | 5-45℃ | ||||||||||||
工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3MPa(表壓力) | ||||||||||||
系統連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀 | ||||||||||||
中真空控制系統 | 系統真空范圍 | 10-100Pa | |||||||||||
真空泵 | 雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/s,出氣口配有油污過濾器,額定電壓200V,功率0.55Kw | ||||||||||||
CVD系統配置 | 1400度真空管式爐 多路質量流量控制系統 真空系統 |